扫描透射电子显微镜-广东省科学院半导体研究所-政府采购意向

标的名称:扫描透射电子显微镜 标的数量:1 主要功能或目标:扫描透射电子显微镜提供微米至纳米级的表面细节成像，用于半导体晶圆表面缺陷检测、光刻胶与图形工艺分析、器件局部失效定位分析、并可与能谱结合进行化学元素定性定量分析。 需满足的要求:电子枪类型：高稳定度肖特基场发射电子枪；2、分辨率：扫描透射模式（STEM） 30kV时≤0.9 nm，二次电子相1 k V时≤2nm；3、最大电子束流：不小于18nA；4、探测器：扫描透射探测器，样品室二次电子探测器，透镜内探测器，光学导航相机；5、加速电压：最高30kV；6、能谱仪：有效面积不低于60mm2；