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| 高功率高重频飞秒激光系统 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 高功率高重频飞秒激光系统 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 名称：高功率高重频飞秒激光系统主要功能和目标： EUV光刻胶性能对于EUV光刻效果至关重要，但是针对新合成的光刻胶，其性能检测却困难重重。其主要原因在于EUV光源产生困难、光刻平台稀缺和曝光机理不明。申请采购的高功率、高重频飞秒激光系统可以驱动高次谐波，产生高功率EUV光源，从而为上述难题提供解决方案，对于双一流材料学科建设具有重要意义。 该高功率高重频飞秒激光系统的主要指标如下： 1. 功率大于等于200W, 重频不小于100kHz且可调谐，脉宽不大于400fs； 2. 指向稳定性好于10μrad，功率稳定性好于0.5%； 2. 该激光系统在100kHz下可实现单脉冲能量输出不低于2mJ； 3. 一级脉冲宽度压缩系统支持200W，400fs脉冲输入和160W，40fs脉冲输出，且效率高于80%； 4. 二级脉冲宽度压缩系统支持10fs超短脉冲输出，效率高于50%； 采购数量：1套 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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