超声换能器加工设备-中国科学院深圳先进技术研究院-政府采购意向

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旨在开发两套大规模二维面阵超声换能器系统。二维面阵制备流程主要包括：切割，填充，研磨，溅射电极、制作匹配层，阵元接线，制作背衬，封装。其中，电信号通过溅射电极施加到压电材料上从而产生声波，溅射的电极电学性能极大的影响了制备换能器的声学性能。保证压电复合材料表面溅射的厚度可控性以及每一个阵元上电极的均匀性和一致性，是确保超声换能器系统性能的关键工艺环节。为了满足这一要求，需要一台具有高稳定性且价格适中的专用设备来进行溅射镀膜工艺的实施。通过高精度的镀膜过程，为压电材料提供性能稳定且均匀的金属电极层，确保换能器的最佳性能。