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智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统-天津大学-政府采购意向

智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统-天津大学-政府采购意向

采购意向 天津 - 天津 - 南开区
发布于 2025-07-30

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天津大学
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****点击查看2025年9月政府采购意向-智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统 详细情况
智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统
项目所在采购意向： ****点击查看2025年9月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 智能传感器薄膜沉积与刻蚀系统
预算金额： 297.500000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0300电子工业生产设备
采购需求概况 ：
拟采购智能传感器薄膜综合沉积系统1套，可用于硅基介电/半导体薄膜、金属/化合物电极与敏感层、高纯度低损伤功能层的全流程制备。 拟采购智能传感器薄膜物理和化学蚀刻系统1套，可用于硅基/有机材料的各向异性干法刻蚀、金属/化合物材料的深槽刻蚀、以及介质层的选择性湿法刻蚀的全工艺链加工。
预计采购时间： ****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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