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兆声清洗机-中国科学院微电子研究所-政府采购意向

兆声清洗机-中国科学院微电子研究所-政府采购意向

采购意向 北京 - 北京 - 北京
发布于 2025-04-14

招标详情

中国科学院微电子研究所
企业详情 >相似采购商 >
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****点击查看2025年10至11月政府采购意向-兆声清洗机 详细情况
兆声清洗机
项目所在采购意向： ****点击查看2025年10至11月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 兆声清洗机
预算金额： 450.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0300-电子工业生产设备
采购需求概况 ：
采购标的名称：兆声清洗机。采购数量为1台。采购标的主要功能：满足8英寸晶圆清洗，采用单片清洗，具备3种供液系统，用于清洗刻蚀后的InO GaO ZnO Ru Mo ITO TiN等薄膜材料。粒径＞0.3um 的颗粒去除率 >95%; 碎片率 ＜1‰; 划痕率＜1‰。采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。
预计采购时间： ****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

关键词
政府

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