中国科学院微电子研究所
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高精度扫描电子显微镜 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 高精度扫描电子显微镜 |
预算金额: | 1200.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0304-光学测试仪器 |
采购需求概况 : | 采购标的主要功能:满足8英寸晶圆观测,二次电子图象分辨率0.4nm@30kV,0.7nm@1kV;放大倍数:220~8,000,000;具备sTEM和能谱,能够在腔体内原位退火与电学测试。采购标的需满足的质量,服务,安全,时限:提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案;设备订单生成后12月内交货安装完成。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。