磁力显微镜-中国科学院赣江创新研究院-政府采购意向

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1、功能模式 提供扭转共振模式、面外磁力显微镜模式、面内磁力显微镜模式、原位可变外加磁场模块、编程多点自动扫描模式、智能扫描模式，磁力显微镜空间分辨率：100 nm。 2、扫描器 XYZ三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围不小于90μm；Z方向扫描范围不小于9μm；闭环控制下，XY方向实际测试噪声水平不高于0.15nm（RMS），Z方向实际测试噪声水平小于0.035nm（RMS）。 3、样品台 样品台尺寸不小于200 mm；能放置最大样品高度不低于15 mm；样品台自动移动XY行程不低于180×150 mm。