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| 二维材料转移与微纳器件加工联合系统 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 二维材料转移与微纳器件加工联合系统 |
| 预算金额： | 650.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看9900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购系统由手套箱互联系统、高分辨二维材料金相显微转移系统、无掩模光刻机、磁控溅射镀膜机、离子束刻蚀机、3D显微镜六部分组成，覆盖低维量子材料制备、器件加工与快速表征全流程。所有设备通过手套箱互联无缝集成，为低维量子材料与器件的“材料生长—加工—检测”全链条提供全封闭惰性气体操作环境。 主要技术指标如下： 手套箱：包含四个双工位手套箱，总计预留四个接口，可实现手套箱与磁控溅射、离子束刻蚀、原子层沉积和千级超净间的样品传递；箱体泄露率≤0.05 vol%/h；水氧含量≤1 ppm； 金相显微转移系统：配备五轴可调衬底载物平台，配备五轴可调载玻片移动平台 无掩膜光刻系统：最小线宽≤0.8 μm；套刻精度≤±1 μm 高真空磁控溅射镀膜系统：2英寸靶位数量≥7靶；衬底加热温度≥850°C 离子束刻蚀机：配备考夫曼离子源；能量0-800eV范围可调 3D显微镜：水平分辨率≤0.5μm；表面粗糙度重复精度0.01 nm 质保期：不少于1年 到货期：不大于1年 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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