高精度电感耦合等离子体质谱仪-山东大学招标采购管理中心-政府采购意向

高精度电感耦合等离子体质谱仪-山东大学招标采购管理中心-政府采购意向

发布于 2024-09-23

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山东大学招标采购管理中心
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为便****点击查看政府采购信息, 根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,****点击查看大学2024年(第六十四批)10月至11月****点击查看政府采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 反应离子刻蚀设备 ****点击查看 A****点击查看2402 真空应用设备 本次采购反应离子刻蚀设备设备1台,可以刻蚀有机物、Si、SiO2、SiNx、金属等材料,应用于集成电路领域的材料和器件加工工艺。 165 ****点击查看
2 8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉 JN****点击查看00152 A****点击查看0913 通用工业窑炉 本次采购8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉设备1台,产品需要达到高温区最高温度需要超过2500℃,腔室直径大于200mm。 190 ****点击查看
3 高精度电感耦合等离子体质谱仪 JN****点击查看00153 A****点击查看0407 质谱仪 本次采购的高精度电感耦合等离子质谱仪1台,产品需要达到荷质比的定性分析,满足半导体材料研发需求。 190 ****点击查看

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

****点击查看

2024年09月23日

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