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为便****点击查看政府采购信息，根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****点击查看2025年度（第234批）采购意向公开如下：
| 1 | ****点击查看**度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购 | 采购内容：**度电感耦合等离子体刻蚀机 采购数量：1台 采购内容：氧化镓金厘有机化合物气相沉积系统 采购数量：1台 主要功能或目标：该设备利用电感耦合等离子体产生高能量的离子和自由基，可实现对多种超宽禁带材料的精确刻蚀，具备高刻蚀速率、高选择性、良好的均匀性和垂直度等优点。采购此设备旨在不同研究方向上对微纳结构加工的严格要求，实现高深宽比的微结构加工，提高探测器性能，同时提升研究效率，降低研究成本，保障技术保密性，推动高性能超宽禁带探测器研究的深入开展。 需满足的要求：质量保证期:验收合格之日起算一年;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时; | 820.000000 | ****点击查看 | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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2025年06月12日
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