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历史招中标信息38616条
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| 原子制造加工设备 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 原子制造加工设备 |
| 预算金额： | 161.500000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看9900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 该设备适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。 要求样品台室温至500 ℃可控。至少配备6路前驱体源管路：2路常温源、4路加热源；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀。配备2路反应物管路，反应物包含H2O、O3。至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计。控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，PLC可支持2ms扫描周期。采用电感耦合(ICP)远程等离子体激发源，配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。配备臭氧系统，热阱加热器。 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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