激光脉冲沉积（PLD）采购-北京理工大学-政府采购意向

A****点击查看0309激光仪器

本次采购拟购置中国矩阵 RP-M 型激光脉冲沉积（PLD）系统 1 套，用于高质量 NV 色心金刚石薄膜的制备。该设备需具备在超高真空环境下实现高纯度、高均匀度和低缺陷密度的薄膜沉积能力，能够通过多靶位切换与等离子辅助实现氮、硅等元素的精确共掺杂，支持纳米级厚度控制与层状生长模式，从而显著提升 NV 色心的相干时间和量子态可读性，满足量子惯性导航、量子磁力计、量子频率标准及量子计算等研究方向的核心需求。采购设备需运行稳定、质量可靠，供应商需提供完善的安装调试、操作培训和售后保障，系统必须符合急停、过载保护、漏电保护、****点击查看实验室安全要求，并在合同约定时限内完成交付与现场能力验收，确保中试平台建设顺利推进。 主要参数： 1. 主腔室：UHV 兼容，全金属密封，抽气系统包括进口分子泵（抽速 ≥650 L/s）和涡旋干泵（≥3.1 L/s），本底真空优于 9×10 Pa。 2. 进样室：配有样品/靶材存储装置，自动升降，抽气系统包含分子泵（抽速 ≥67 L/s），本底真空优于 5×10 Pa。 3.气路系统：含 O 和 Ar 两路工艺气体通道，另设 N 放气气路，进口质量流量计 2 套，支持氧气回充高温退火，具备旁抽与粗抽气路控制。 4.加热台：最高温度 900°C，温度稳定性 ±1°C，基片尺寸 1 英寸，支持 XYZ 三轴移动及旋转/倾斜电控调节。 5. 靶台：可装载 φ1 英寸 × 6 个靶材，XY 线性扫描由步进马达驱动，支持自动升降与防交叉污染设计。 6.光学系统：包含全封闭光路架与保护罩，配套进口反射镜与透镜，支持激光光斑 90°翻转及聚焦。 7.激光器：进口准分子激光器，波长 248 nm，单脉冲能量 750 mJ，能量稳定性 0.75%，最大脉冲频率 10 Hz，脉冲宽度 20 ns。 8. 辅助功能：激光窗口可旋转避开坏点并配石英检测窗口，支持原位激光能量测量；具备高通量功能，可实现梯度法沉积和自动控制。