工业和信息化部电子第五研究所
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纳米探针系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 纳米探针系统 |
预算金额: | 1000.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0300电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 纳米探针系统用于半导体微小结构、纳米级晶体管的电性能测量。该系统需具备:1)基于原子力显微镜的测量系统,降低待测器件受荷电的影响;2)探针针尖半径和图像漂移指标能够适应先进制程晶体管测量Pad尺寸。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: | 重点 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。