华南师范大学采购脉冲激光沉积(PLD)系统项目-政府采购意向

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发布于 2025-09-29

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华南师范大学
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预算金额: 120.000000万元(人民币)
采购品目:
采购需求概况 :
标的名称:脉冲激光沉积(PLD)系统 标的数量:1 主要功能或目标:满足学院基于功能氧化物薄膜器件研究的需求。该设备可以完成高质量外延单晶薄膜的生长制备,实现高重复性、高均匀性的氧化物薄膜生长需求。 需满足的要求:1. 搭配准分子激光器、气路系统、靶台系统、控制系统和PLD腔体系统,具备自动化控制程序。 2. 本底真空≥6.5×10-5Pa; 配置程控加热电源,实现程序温度控制。 3. 激光波长248nm,最大脉冲能量750mJ,能量稳定性:0.75%,最大脉冲频率10Hz,脉冲宽度20ns,功率7.5W,激光可通过系统程序软件触发。
预计采购时间: ****点击查看
备注:

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。