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光谱路由制备设备采购项目 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 光谱路由制备设备采购项目 |
预算金额: | 435.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 采购内容:光谱路由制备设备;主要功能或目标:HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪、 XTC/3+6点式水晶传感器、 17cmRF离子源、电子枪2套。膜厚控制方式:光学和晶控;制备源:电子双枪;辅助离子源:23 寸RF离子源;工作压力:小于7×10-5Pa;排气时间:20分(大气压-1.3×10-3Pa)。;需满足的要求:采用电阻、电子束加热方式实现多种介质和金属材料的蒸发制备。制备光谱路由器件,用于光谱成像芯片;。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。