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金属有机化学气相沉积系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 金属有机化学气相沉积系统 |
预算金额: | 998.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0904增材制造设备 |
采购需求概况 : | 生长速率不低于20 nm/h;外延薄膜厚度可达100 nm;外延材料表面粗糙度≤ 5 nm;具备生长载流子浓度≤5*E16cm-3材料能力;具备生长霍尔迁移率≥50 cm2/Vs材料能力;具备生长X射线衍射半高宽≤100 arcsecs材料能力 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。