扫描电镜原位力学测试系统-中国科学院近代物理研究所-政府采购意向

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本次招标内容为一个扫描电镜原位力学测试系统。其需要安装到扫描电子显微镜内部，压电陶瓷样品台XYZ方向的移动范围分别不低于25mm、25mm和10mm，载荷噪声≤400nN，位移噪声≤1nm，实现扫描电镜高分辨率微纳米结构成像的同时准确得到定量的载荷和位移的数据。 原位力学测试系统采用模块化设计方案，设计需充分考虑可靠性、可维护性及与扫描电镜的适配性等要求。 本次招标一个扫描电镜原位力学测试系统，其中含有原位纳米压痕测试模块（原位观察压缩过程，实时监测和记录实验过程中的力学数据），压电陶瓷定位样品台（样品精确定位），数据采集和控制系统（闭环载荷和位移控制的控制频率不低于78kHz），软件系统（将连续的载荷、位移数据与SEM视频之间实现时间同步，实时观测材料在力学测试下发生的动态变化，如蠕变、相变、断裂等）。