12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备-中国科学院微电子研究所-政府采购意向

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发布于 2025-01-26

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中国科学院微电子研究所

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12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备
预算金额：	3800.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看0300电子工业生产设备
采购需求概况：	采购数量为1台。采购标的主要功能：满足12英寸晶圆的槽式湿法刻蚀，槽数数量为6个刻蚀槽，6个清洗槽，用于刻蚀SiO SiN Polymer 等薄膜材料薄，深宽比100:1深孔，横向刻蚀上下层刻蚀差小于10%。采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。
预计采购时间：	****点击查看
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