全自动光学显微镜-中国科学院微电子研究所-政府采购意向

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该设备用于检查晶圆表面状况，确认表面是否显影干净、图形是否完整，以及是否有划伤及其他缺陷。随着芯片尺寸的逐渐缩小，沾污对于器件性能的影响越来越大，手动显微镜由于需要手动放片，导致晶圆不可避免被污染，严重影响到器件性能以及研发成功率，导致项目研发周期被**。本次购置的显微镜为全自动传输，可以保证检查过程中无人员接触，杜绝检查过程中的沾污情况，是先进器件流片中不可缺少的设备。该设备对于本项目的利用率非常高，为避免交叉污染，无法与其他单位共用设备。配合工艺检测显微镜载物台可进行8吋及以下圆片尺寸观察，载物台行程不小于200*200mm范围；工艺检测显微镜可放大50至1000倍，多档可调，具备自动传片系统。采购数量1台。