电子束曝光机-华南理工大学-政府采购意向

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采购电子束曝光机1台，实现最小线宽20 nm的线条状区域曝光，在10μm至500 μm尺寸曝光场实现任意图形的曝光，整机质保不少于2年，主要技术参数如下： 1. 肖特基热场发射电子源； 2. 加速度电压：200V ~ 30 kV； 3. 加速电压30 kV下 束斑≤3 nm； 4. 束流强度：10 pA ~ 200 nA； 5. 束流稳定度：实验室温度波动±0.5℃情况下，8小时内束流稳定性≤0.5%； 6. 束斑位置稳定性：每小时≤150nm； 7. 图形发生器扫描频率：不小于20MHz； 8. 写场尺寸：10μm~500μm可调节； 9. 最小线宽：≤20nm； 10. 拼接精度：≤50nm@100μm写场； 11. 套刻精度：≤50nm@100μm写场； 12. 工件台行程：X方向0~100mm、Y方向0~100mm； 13. 最大可加工样品尺寸：4寸；同时提供不同规格小样品的夹具； 14. 配置激光干涉仪、光学导航系统、自动进样系统，进样的时间≤10分钟； 15. 配置分辨率≤50ns的超快脉冲控制模块和闭环分辨率≤5nm的纳米位移台； 16. 配置UPS电源； 17. 配置1Hz以上振动频率的主动-被动集成式减振装置；

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