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| 全自动高低温射频滤波器/集成电路测试设备 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 全自动高低温射频滤波器/集成电路测试设备 |
| 预算金额： | 498.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看0205集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 拟购置设备为8英寸全自动高低温芯片测试探针台和一台2端口的20GHz的网络分析仪，实现-60至300℃的高低温芯片测试表征，两者均属于射频元器件测试的核心设备。这套系统用于8英寸以下各种规格晶圆、碎片、单粒芯片、基片等电域参数的测量表征，进而实现对半导体器件、工艺结构等进行设计验证、提参建模、测试表征、工艺监控以及小批量测试。实现RF射频半导体器件的测量，获取器件的S参数、带宽、增益、线性度、效率、噪声系数、压缩点及效率等参数，****点击查看实验室LAB研发到晶圆厂FAB生产制造全覆盖的高端在片测试用探针台。 主要技术指标包括： 1.配置高低温全自动探针台能满足8英寸及以下各种规格晶圆、碎片、单粒芯片、基片、材料等电参数的测量表征，实现2路DC-20GHz RF测试。 2.探针台支持搭配分立半导体参数分析仪B1500A、KEITHLEY 4200A-SCS、各种源表SMU、LCR、矢量网络分析仪、频谱仪、信号源、示波器等、以及Keysight 4080半导体参数测试系统和KEITHLEY S530参数测试系统等，真正实现半导体从Lab到Fab的全研制生命周期测量应用。 3.集成上下料单元，提供符合SEMI标准4”、6”、8”晶片的2个SEMI Cassette station， 每个Cassette放置25张Wafer。除此之外，Prober也支持手动模式放置晶圆。 4. 配置GPIB接口，与第三方测试应用软件无缝集成。 5.探针台通过仅通过升级附件，可进行直流-射频混合、负载牵引和毫米波和太赫兹频段测试。 6. 配置高低温控制系统，温度范围：-60℃～300℃。 7. 温度分辨率≤0.1℃；升降温速率要求-60℃～25℃升温时间≤5分钟，25℃～300℃的升温时间≤27分钟，300℃～25℃降温时间≤15分钟，25℃～-60℃的降温时间≤15分钟。 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | 欢迎供应商提供相关产品或服务信息，产品资料可发送至采购人邮箱：zhuhs@scut.****点击查看.cn，邮件标题：“****点击查看*采购意向推荐产品”,联系电话：020-****点击查看2137。 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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