面向原子级功能晶体表/界面科学的脉冲激光沉积系统-中国科学院上海硅酸盐研究所-政府采购意向

采购意向上海 - 上海 - 长宁区

发布于 2025-07-28

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中国科学院上海硅酸盐研究所

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面向原子级功能晶体表/界面科学的脉冲激光沉积系统
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	面向原子级功能晶体表/界面科学的脉冲激光沉积系统
预算金额：	320.000000万元(人民币)
采购品目：	A****点击查看2402真空应用设备
采购需求概况：	1）样品台直径≥1 inch (可实现10×10 mm2样品生长)，最高加热温度≥900 °C，可编程控制升降温速率，原位测温最高至1000 °C；2）主腔真空度< 1×10-8 mbar，二路气体N2、O2；3）多靶位扫描靶台系统，多靶台位移台，可软件控制靶材切换和面扫；4）准分子激光器，最大功率700 mJ，重频10 Hz；5）RHEED系统最高工作气压≥ 0.5 mbar，信号采集与处理软件
预计采购时间：	****点击查看
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