激光直写光刻机-重庆大学-政府采购意向

激光直写光刻机-重庆大学-政府采购意向

发布于 2024-10-23

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重庆大学
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****点击查看2024年12月政府采购意向-激光直写光刻机 详细情况
激光直写光刻机
项目所在采购意向: ****点击查看2024年12月政府采购意向
采购单位: ****点击查看
采购项目名称: 激光直写光刻机
预算金额: 280.000000万元(人民币)
采购品目:
A****点击查看0309激光仪器
采购需求概况 :
拟建设系统是在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型,从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。可直接对衬底上的光刻胶进行直写,对光敏材料进行图案化加工,从而实现有机光刻胶图案化集成;可制作掩模板;可进行三维灰阶光刻功能等。 需要包含如下主系统与配件: 激光直写光刻主体(包括直写系统、光源、样品台控制系统) 1套 显微镜系统与对准、对焦及校准系统 1套 减震系统 1套 预装控制软件的专用计算机(包含显示器、电源线、数据连接线) 1套
预计采购时间: ****点击查看
备注:

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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