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激光直写光刻机 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 激光直写光刻机 |
预算金额: | 280.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0309激光仪器 |
采购需求概况 : | 拟建设系统是在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型,从而以更灵活的方式实现微纳结构或器件加工的光刻步骤。可直接对衬底上的光刻胶进行直写,对光敏材料进行图案化加工,从而实现有机光刻胶图案化集成;可制作掩模板;可进行三维灰阶光刻功能等。 需要包含如下主系统与配件: 激光直写光刻主体(包括直写系统、光源、样品台控制系统) 1套 显微镜系统与对准、对焦及校准系统 1套 减震系统 1套 预装控制软件的专用计算机(包含显示器、电源线、数据连接线) 1套 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。