光波元件分析仪-亿元华中科技大学-政府采购意向

光波元件分析仪-亿元华中科技大学-政府采购意向

发布于 2025-03-21

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亿元华中科技大学
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超2.1亿元 ****点击查看仪器采购意向
近期,****点击查看连续发布36项仪器采购意向, 预算金额高达21498万元。涉及仪器设备包括显微多普勒激光测振仪、氧化物单层沉积系统、傅里叶变换红外显微镜、全真空型傅里叶变换红外光谱仪、原子层沉积、化学机械研磨、反应离子刻蚀机等。 预计采购时间2025年3月至11月。

****点击查看政府采购的初步安排,具体采购情况以****点击查看发布的采购公告和采购文件为准,有意向的企业可持续关注该校发布的招标信息。

****点击查看仪器采购意向汇总


序号

采购项目
名称

采购需求概况

预算金额
(万元)

预计
采购日期

1

显微多普勒激光测振仪

显微多普勒激光测振仪1台

350

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2

氧化物单层沉积系统

氧化物单层沉积系统1台

260

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3

激光掩膜直写系统

激光掩膜直写系统1台

850

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4

中束流注入机

中束流注入机1台

2000

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5

傅里叶变换红外显微镜

傅里叶变换红外显微镜1台

110

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6

全真空型傅里叶变换红外光谱仪

全真空型傅里叶变换红外光谱仪1台

140

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7

湿法刻蚀机

湿法刻蚀机2台

220

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8

原子层沉积

原子层沉积1台

450

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9

电子束蒸发镀膜设备

电子束蒸发镀膜设备1台

860

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10

等离子体辅助化学气相沉积仪(PECVD)

等离子体辅助化学气相沉积仪(PECVD)1台

280

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11

溅射台

溅射台1台

2200

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12

减薄机

减薄机1台

400

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13

化学机械研磨

化学机械研磨1台

1100

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14

HF气相刻蚀机

HF气相刻蚀机1台

480

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15

反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机1台

220

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16

金属刻蚀机

金属刻蚀机1台

600

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17

Trench深硅刻蚀机

Trench深硅刻蚀机1台

1170

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18

RCA清洗机

RCA清洗机1台

680

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19

双面曝光机

双面曝光机1台

380

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20

I线涂胶显影机

I线涂胶显影机1台

445

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21

喷胶机

喷胶机1台

330

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22

激光隐切划片机

激光隐切划片机1台

300

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23

磁控溅射镀膜设备

磁控溅射镀膜设备1台

1600

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24

立式低压化学气相沉积(LPCVD)

立式低压化学气相沉积1台

750

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25

Scrubber尾气处理系统

Scrubber尾气处理系统1台

450

****点击查看

26

特殊气体供气系统

特殊气体供气系统1台

1800

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27

PM CLEAN PM 清洗系统

PM CLEAN PM 清洗系统1台

380

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28

8英寸介质刻蚀机

8英寸介质刻蚀机1台

450

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29

氧化物电介质磁控溅射仪

氧化物电介质磁控溅射仪1台

203

****点击查看

30

晶圆键合机

晶圆键合机1台

490

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31

脉冲波ESR谱仪微波系统

脉冲波ESR谱仪微波系统1套

300

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32

高重频飞秒激光器

高重频飞秒激光器1台

170

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33

光波元件分析仪

光波元件分析仪1台

390

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34

单脉冲激光器

单脉冲激光器4台/套

140

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35

宽频段太赫兹光源

宽频段太赫兹光源1台/套

200

****点击查看

36

智能活细胞实时成像分析系统

智能活细胞实时成像分析系统

350

****点击查看



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