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纳米压印系 统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 纳米压印系 统 |
预算金额: | 160.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看2100教学仪器 |
采购需求概况 : | 紫外光源系统:支持波长365nm,最大光功率为300mW/cm2,光照均匀性不低于85%; 纳米压印模具固定夹具; 基底温控系统:软件调控温度范围为室温至70°C,温度均匀性达到±3%,设置精度为±1°C; 100 mm基底托盘:兼容直径4英寸及2英寸的圆形基底。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。