中国科学院空天信息创新研究院
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****点击查看聚焦离子束扫描电镜 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | ****点击查看聚焦离子束扫描电镜 |
预算金额: | 441.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0305电子光学及离子光学仪器 |
采购需求概况 : | 采购1台聚焦离子束扫描电镜,实现微传感器样品的聚焦离子束扫描。主要技术指标:电子束系统在优化工作距离下≤0.8nm @ 30kV;≤1.4nm @ 1kV;1.2nm@1kV (BD);离子束系统离子束分辨率≤ 3nm @ 30kV (采用选边法测量);配备透射样品自动取出机械手控制程序与双束控制软件集成在一起,实现一体化 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。