高分辨薄膜结构表征系统-中国科学院电工研究所-政府采购意向

A****点击查看0405 射线式分析仪器

高分辨薄膜表征系统是一种高精度设备，能够对外延薄膜的结构进行全面而细致的测量，在REBCO涂层导体研究和开发中具有不可或缺的作用。REBCO涂层导体通常由多层输运薄膜构成，其中每一层对超导性能均有重要影响。例如，织构层可能导致ab面倾斜，进而引发性能各向异性。因此，对各层薄膜的结构精细表征是提升整体性能的基础。该系统能够提供外延薄膜的厚度、面内及面外织构度、倒易空间点阵分布等关键参数，揭示各层膜的物理特性和生长规律，为优化材料设计提供科学依据。主要技术指标：1.具备薄膜测量功能，可实现面内、面外织构度测量、RSM测量、XRR测量等；2.配备高分辨光路系统；3.配备一维阵列探测器，可快速切换一维和零维模式；4.配备多维样品台，可实现5维度样品控制。