等离子增强原子层沉积设备-南京大学-政府采购意向

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****点击查看拟采购等离子增强原子层沉积设备一套，需能够精确地在低维材料上构建复杂的结构和异质结构。主要参数需求如下：整套系统由铝制进样室、不锈钢生长室两部分组成，由机械臂传输；配有等离子发生器和功率匹配单元；晶片尺寸：最大8英寸向下兼容; 衬底加热：最高温度不低于500摄氏度，循环冷却水冷却工艺腔室; 不低于5路气体（载气+反应气），VCR接口不锈钢管道连接，由质量流量计控制流量；不低于4路前驱体，压力传感器控制，VCR接口不锈钢管道连接，配调节阀门、加热器、保温套、高温规、鼓泡器、旁通设计等分别适用于高温、低温前驱体的设计方案；前级粗抽泵为干泵，高真空通过分子泵实现；工艺腔和进样腔配真空规管监测本底真空和工艺气压，蝶阀等方案控制工艺腔室压力；样品范围内镀膜厚度均匀性优于±3%；预留与互联模块连接的接口等便于与后期互联模块对接；质保期不少于12个月。