中山大学电子与信息工程学院高纯特种气体供应及监测系统采购项目-中山大学-政府采购意向

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该系统为混合集成芯片先导线建设的配备附属设备，主要为该先导线科研设备提供高纯气体供应及安全报警联动，同时对相关用户设备提供科研设备二次配安装服务；本系统包含为半导体设备提供高纯特种气体供应所需的全自动气瓶柜、气瓶架、阀门分配箱、分配面板、尾气处理系统、集中流量计量系统、气体监测报警系统、全套系统相应的连接管道、配套辅助设备设施、电缆线缆等系统运行所需一切设备材料，以及采购文件图纸及气体需求清单内的所有用户半导体设备的的二次配需求；要求根据用户科研设备进场情况分多次及时提供二次配服务（含多次高纯特种气体管道的保压、氦检、水分、氧分、颗粒五项检测及必要的第三方检测），整个系统质保3年，提供不小于5年的技术支持，不少于5次的危险气体送气服务，每季度不少于一次的现场巡检，供应商配备紧急救援设施，泄漏报警时提供紧急救援服务；具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起100个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕，（包括供资，安装，调试，验收合格所需时间），具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。