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高通量电子束蒸发薄膜制备系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 高通量电子束蒸发薄膜制备系统 |
预算金额: | 150.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看2402真空应用设备 |
采购需求概况 : | 该系统采用前开门式不锈钢腔体设计,配备分子泵组、Loadlock进样室、6穴电子束蒸发源、高通量模块、霍尔离子源、高精度石英晶体膜厚仪,拟建设为一套集超高真空环境、精密膜厚控制与高通量制备功能于一体的先进薄膜沉积平台。 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。