微纳平台工艺设备配套项目采购-东南大学-政府采购意向

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需完成磁控溅射PVD、HMDS预处理系统、低气压气相沉积LPCVD、原子层沉积ALD、等离子体增强化学气相沉积系统、反应离子束刻蚀ICP-RIE、等离子体干法去胶机、IBE刻蚀机、微束定点离子精修系统、俄歇光电子能谱仪、Flip-chip倒装焊、二次离子质谱仪、X射线光电子能谱系统、尾气处理设备等设备水、电、气、排风等二次配方案设计及施工；一层氦气系统及二层氮气新增；二层备件周转间气路与电路新增；A08、A18房间彩钢板墙体拆除及恢复、一层西北侧土建墙体拆除恢复及钢制防火门安装、二层板换机组进水端替换以及A03、A13房间气路改造及设备入场准备等。