西安科技大学镓离子双束聚焦扫描电子显微镜采购项目-西安科技大学-政府采购意向

采购内容:镓离子双束聚焦扫描电子显微镜；主要功能或目标:镓离子双束聚焦扫描电子显微镜将精确的聚焦离子切割和高分辨场发射扫描电子显微镜两者结合在一起，其内置了主动式电磁减震系统及主机原厂一体化纳米机械手且软件与主机软件相互集成，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件等对各类材料进行微区成像、加工、分析；需满足的要求:1.1 BrightBeam无漏磁超高分辨SEM镜筒肖特基场发射灯丝，预期最短使用寿命可达2年，探针电流:2pA–400nA,连续可调，视野范围:7mm@WD=6mm,>50mm@最大WD，放大倍数：2~2,000,000x 1.2 Orage离子镜筒，液态金属镓离子源，预期最短使用寿命3000μAh，配置压电驱动光阑变换器，30孔光阑，静电束闸，配置法拉第杯，离子束能量范围: 500 eV–30 keV，探针电流:<1pA–100nA，最大视野:1mm@10keV 1.3 电子束分辨率，1.5nm@1keV(无漏磁)，1.3nm@1keV(减速模式)，0.9nm@15keV(无漏磁)，0.8nm@30keVSTEM(无漏磁) 低真空分辨率，1.8nm@30keV，GSD探测器，3.0nm@3keV，GSD探测器，离子束分辨率，2.5nm@30keV 2.1 气体注入系统 OptiGIS:单支气体注入系统（可伸缩）:最多可配置三支OptiGIS注入系统（多种气体源可选），5-GIS:五支独立的毛细管气体注射系统，三轴（XYZ）马达驱动，集**装在一个样品室接口上。可选气，铂金属沉积(Pt)+，钨金属沉积(W)，碳沉积(C)，绝缘体沉积(SiOx)，增强刻蚀(H2O)，增强刻蚀(XeF2)等 3.1 图像采集，最大图像像素:16kx16k，图像纵横比:1:1,4:3和2:1，图像拼接，全景图像尺寸无上限（需要自动拼图软件），能够同时支持多达8个实时信号通道，实时伪彩图像和多通道信号混合，图像格式：TIFF,PNG,BMP,JPEG和GIF，动态范围:8位或16位。 二、采购标的需满足的各项要求： ①质量和服务要求：实现该设备的长期正常使用，由厂家提供不低于一年质保和长期指导维护； ②时限要求：于2025年11月底完成全部采购流程，2025年12月底完成设备验收 。

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