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历史招中标信息17535条
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| 探针式表面轮廓仪 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 探针式表面轮廓仪 |
| 预算金额： | 122.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****点击查看0810 角度量仪 |
| 采购需求概况 ： | 在电子器件和材料表征中，薄膜厚度和表面粗糙度通常是一个非常重要又获取成本较高的关键参数，对于器件结构设计和制备工艺优化有着极其重要的作用。较常见的薄膜形貌表征设备有椭偏仪、表面轮廓仪（台阶仪）和原子力显微镜等，其中椭偏仪只能测试透明薄膜厚度，且受薄膜表面粗糙度影响较大；原子力显微镜虽然精度最高，但造价昂贵且能够观测的区域非常小；对于较大尺寸的非透明薄膜厚度及表面粗糙的表征需求，表面轮廓仪是最为合适的设备。 设备核心指标需求： 1. 最大扫描长度≥180mm； 2. 垂直方向的扫描范围≥1000微米； 3. 测试垂直分辨率≤0.1nm |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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