X射线光电子能谱仪-浙江大学-政府采购意向

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采购项目名称为X射线光电子能谱仪，一套。主要功能：通过使用X射线入射固体样品表面并采集从样品表面产生的光电子，提供表面的元素成分、元素化学态信息。技术指标核心要求： 1) 能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）≤ 0.48 eV。 2) 大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰,能量分辨≤1.0 eV时，光源功率≤100 W条件下，计数率强度≥6 Mcps。 3) 微区分析（X射线束斑≤10 μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥50 Kcps，分析功率≤1.3W。 4) 微区分析（X射线束斑≤10 μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥100 Kcps，分析功率≤1.3W。 5) 微区分析（ X射线束斑≤20 μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥200 Kcps，分析功率≤5W。 6) 微区分析（ X射线束斑≤20 μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥400 Kcps，分析功率≤5W。 7) 能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、变角AR-XPS。 8) 化学态成像模式：扫描X射线成像模式；每个像素点都有对应的图谱。 质保：至少3年。