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采购单位: | ****点击查看 |
项目名称: | 热蒸发系统 |
预算金额(元): | 1,500,000.000 |
采购品目: | 真空应用设备 |
采购需求概况: | 名称:热蒸发系统 主要功能: 用于在真空环境下通过热蒸发方式沉积金属(如金、银、铝)或非金属薄膜。 支持多种蒸发材料(包括高熔点材料)。 采购数量:1台 质量要求: 1.不锈钢真空腔室和真空锁。 2.可处理最大直径达 150 毫米的晶圆,且能够同时处理五(5)片 75 毫米的晶圆或三(3)片 100 毫米的晶圆。 3.配有挡板的四至六个独立的沉积源。 4.样品基板冷却功能。 5.样品晶圆真空锁。 6.无油抽气系统;本底压力至少为 1×10托。 服务要求: 1.安装与培训调试:供应商需提供专业的安装调试服务,提供全面的操作培训和维护培训, 确保设备正常运行。 2.售后服务: 提供至少3年免费保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供24小时技术支持热线,快速响应故障报修。 安全要求:设备需符合相关国标电器安全标准(如CE认证)。 时限要求:合同签订后6个月内完成交货。 |
联系人: | 张老师 |
联系电话: | 0755-****点击查看0028 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: | 无 |