热蒸发系统-深圳医学科学院-政府采购意向

热蒸发系统-深圳医学科学院-政府采购意向

发布于 2025-02-28

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深圳医学科学院
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采购单位: ****点击查看
项目名称: 热蒸发系统
预算金额(元): 1,500,000.000
采购品目: 真空应用设备
采购需求概况: 名称:热蒸发系统
主要功能:
用于在真空环境下通过热蒸发方式沉积金属(如金、银、铝)或非金属薄膜。
支持多种蒸发材料(包括高熔点材料)。
采购数量:1台
质量要求:
1.不锈钢真空腔室和真空锁。
2.可处理最大直径达 150 毫米的晶圆,且能够同时处理五(5)片 75 毫米的晶圆或三(3)片 100 毫米的晶圆。
3.配有挡板的四至六个独立的沉积源。
4.样品基板冷却功能。
5.样品晶圆真空锁。
6.无油抽气系统;本底压力至少为 1×10托。
服务要求:
1.安装与培训调试:供应商需提供专业的安装调试服务,提供全面的操作培训和维护培训,
确保设备正常运行。
2.售后服务:
提供至少3年免费保修服务。
保修期内免费提供维修和更换服务。
提供24小时技术支持热线,快速响应故障报修。
安全要求:设备需符合相关国标电器安全标准(如CE认证)。
时限要求:合同签订后6个月内完成交货。
联系人: 张老师
联系电话: 0755-****点击查看0028
预计采购时间: ****点击查看
备注:
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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