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为便****点击查看政府采购信息，根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年04月至2025年06月采购意向公开如下：
| 1 | 关键尺寸量测扫描电镜 | 标的名称：关键尺寸量测扫描电镜 标的数量：1 主要功能或目标：其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，对晶圆上关键尺寸微观形貌表征的目的 需满足的要求：一、检测速率：应满足每小时检晶圆数量≥30片或每小时检测芯片数量≥300颗 二、平台定位精度要求：针对硅基光刻层，要求应包含-500nm至+500nm 三、需满足相同位置光学显微镜和电子显微镜切换位置偏差<0.5μm 四、颗粒增加数：要求每十片晶圆在5次连续作业后增加数量≤10（颗粒大小≥0.16um） 五、测量视场范围：可对准范围应≤30um，可测量范围应包含0.5-3um | 落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | 9,200,000.00 | ****点击查看 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****点击查看
2025年04月21日
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