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| 晶圆级X射线衍射仪 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 晶圆级X射线衍射仪 |
| 预算金额： | 294.700000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 名称：晶圆级X射线衍射仪功能和目标：晶圆级X射线衍射仪可以测量大尺寸晶圆的晶格参数、应力和位错，以及识别多晶超薄薄膜中的相组成。这些信息对于调整材料的制备和制造工艺尤为关键。晶圆级X射线衍射仪可实现高通量、高效率的数据采集，是实现AI for Nanofab的重要一环，对于半导体器件制程中多道工艺过程的参数控制，工艺流程的快速迭代具有重要意义。 为满足AI for Nanofab and Materials的建设需求，拟采购的晶圆级X射线衍射仪需主要满足以下技术指标和性能： 1.X射线发生器最大功率≥3kW，电压可变范围20kV~60kV，电流可变范围5~60mA 2.测角仪半径≥240mm，最小可控步长≤0.0001度 3.样品台尺寸：可支持6英寸；5轴样品台，Z轴最大移动范围≥1mm，Phi： 0~360度，Chi：≥95度 4.探测器空间分辨率≤100um，配置支持0维、1维、2维扫描，可支持快速倒易空间测试 采购数量：1套 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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