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| 聚焦离子束微区分析仪 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束微区分析仪 |
| 预算金额： | 1132.700000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 名称：聚焦离子束微区分析仪主要功能和目标：聚焦离子束微区分析仪是实现AI for Nanofab and Materials的重要设备，可通过反向分析法对已有器件进行切割、元素分析、纳米级成像、3D重构等获取器件的详细信息，包括材料、结构、尺寸与厚度等，从而获取复杂器件的原始设计。 对该设备有如下要求：1）用于4寸及以上晶圆；2）SEM成像分辨率：不大于1.7nm@1kV、0.9nm@15kV；3）SEM工作电流及电压范围：5pA-10nA，0.35-30kV；4）离子束工作电流及电压范围：1pA-100nA、0.5-30kV；5）含TEM制样台和低温冷台；6）可进行能谱测试，可以为EDS或SIMS，其中SIMS更优；7）可含STEM选件。 采购数量：1套 |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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