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锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统-中国科学院半导体研究所-政府采购意向

锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统-中国科学院半导体研究所-政府采购意向

采购意向 北京 - 北京 - 海淀区
发布于 2025-07-02

招标详情

中国科学院半导体研究所
企业详情 >相似采购商 >
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****点击查看2025年7月政府采购意向-锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统 详细情况
锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统
项目所在采购意向： ****点击查看2025年7月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统
预算金额： 318.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0300
采购需求概况 ：
拟购置的锑化物专用感应耦合等离子体刻蚀设备，针对锑化物半导体材料特性设计配置设备，以获得高刻蚀速率、大的刻蚀选择比、高陡直度刻蚀、侧壁光滑以及良好的均匀性和重复性等结果，从而保证低损伤、高填充率的探测器台面刻蚀，满足锑化物半导体探测器芯片的高质量台面刻蚀要求。
预计采购时间： ****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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关键词
政府

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