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四腔室PECVD-深圳大学-政府采购意向

四腔室PECVD-深圳大学-政府采购意向

采购意向 广东 - 深圳 - 深圳
发布于 2024-10-09

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深圳大学
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联系人联系人1858个

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历史招中标信息历史招中标信息65706条

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采购单位: ****点击查看
项目名称: 四腔室PECVD
预算金额（元）: 1,800,000.000
采购品目: 核技术应用设备
采购需求概况: 用来制备高纯锗单晶、硅单晶深槽中子探测器时，在表面沉积多种介质膜。为了防止交叉污染，需要配备四腔室；分别完成本征薄膜、SiNx/SiONx/SiO2膜、掺碳薄膜和n型薄膜的生长。具备2英寸、4英寸和6英寸处理能力。
预计采购时间: ****点击查看
联系人: 胡老师
联系电话: 139****点击查看0717
备注: 无

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.****点击查看.com:8081/gsgg/002001/****点击查看01001/002****点击查看01002/****点击查看1001/ca43cd4d-926a-4b03-8cfc-0aea3003d1bd.html

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