南开大学物理科学学院多功能复合量子薄膜材料制备系统采购项目-南开大学-政府采购意向

A****点击查看2402真空应用设备

一、设备名称： 多功能复合量子薄膜材料制备系统 二、设备主要功能： 1、系统的极限真空度 1）进样室的极限真空度：10Pa； 2）真空室A的极限真空度：8x10-6Pa； 3）真空室B的极限真空度：6.6x10-6Pa； 4）真空室C的极限真空度：6.6x10-6Pa； 5）真空室D的极限真空度：6.6x10-5Pa。 2、系统的功能配置 1) 、系统整体内包含10套磁控靶，靶材尺寸2英寸，3套强磁靶、7套永磁靶，靶材可原位自清洁，靶基距手动可调； 2) 、磁控靶分3个腔体布置，每个腔体内有一个强磁靶，其余为永磁靶； 3) 、系统内包含一套电子束系统：电子枪功率：10KW； 4) 、进口膜厚测试仪：1套，用于监测膜厚及蒸发速率； 5) 、圆形四工位转靶：1套，可放置4块2寸靶材，靶材可自转、可公转； 6) 、方形四工位转靶：1套，可放置70x70mm靶材，靶材厚度5-7mm，靶材平面与溅射离子枪呈45°； 7) 、离子枪配置：2套离子枪，1套能量1.0kev，用于清洗样品；1套能量2kev，用于溅射转靶； 8) 、真空室A的样品台：2套，最大支持4英寸样品，炉盘加热炉温度0~700℃，样品台可转动； 9) 、真空室B的样品台：1套，最大支持2英寸样品，炉盘加热炉温度0~700℃，样品台可转动； 10) 、真空室C的样品台：1套，最大支持4英寸样品，炉盘加热炉温度0~700℃，样品台可转动； 11) 、真空室D的样品台：1套，最大支持φ30mm样品，炉盘加热炉温度0~700℃，样品台可转动； 12) 、系统配置4套直流电源和3套射频电源，直流电源功率500W，射频电源功率500W。 3、系统的工艺配置 系统最大可制备4英寸样品的膜厚均匀性：200nm厚度五点测试法，样品均匀性优于±5% 三、采购数量： 1台 四、采购需求： 1. 质保期为验收合格之日起1年，报修后1小时内响应，维护人员最迟48小时内赶到维修现场。 2. 保修期过后，对仪器提供终身技术支持服务。软件免费升级, 随时跟踪设备使用情况并进行简单的维护；免费提供合同货物新功能和应用的资料。 3. 设备质保期满前1个月，免费提供一次全面的检查、维护，并提交正式报告，如发现潜在问题，负责排除。 4. 质保期内免费提供系统维护。 5. 免费提供培训及咨询服务。