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历史招中标信息65706条
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| 采购单位: | ****点击查看 |
| 项目名称: | 甲酸回流刻蚀系统 |
| 预算金额（元）: | 9,150,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 甲酸回流刻蚀系统需深度融合无氧环境控制、多材料改性、智能参数调控与数据驱动优化技术，构建半导体异质异构集成核心装备。系统通过自动甲酸回流机（支持6/8英寸晶圆，氧浓度动态控制≤20ppm）实现高可靠性互连，结合板级槽式玻璃通孔蚀刻机（30-150μm孔径灵活加工）的蚀刻控制，及强酸供液系统（30L/min高效供液）的精准化学管理，形成从材料键合到结构成型的全链条解决方案。 |
| 预计采购时间: | ****点击查看 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 159****点击查看1238 |
| 备注: | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.****点击查看.com:8081/gsgg/002001/****点击查看01001/002****点击查看01002/****点击查看0424/****点击查看620c-a572-4d27-bb26-3607c9d54405.html
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