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电子束曝光机-中国科学技术大学-政府采购意向

电子束曝光机-中国科学技术大学-政府采购意向

采购意向 安徽 - 合肥 - 合肥
发布于 2024-10-29

招标详情

中国科学技术大学
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电子束曝光机
项目所在采购意向： ****点击查看2024年10至12月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 电子束曝光机
预算金额： 1400.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看9900其他仪器仪表
采购需求概况 ：
电子束曝光机的分辨率和套刻精度直接决定了所制造的集成电路的集成度，光源的波长是影响光刻精度的主要原因，由于光源波长的限制，X射线曝光可达到50nm左右的精度，深紫外光源的曝光精度在100nm左右，而电子的波长较小，因而电子束曝光的加工精度可以达到10nm以内。
预计采购时间： ****点击查看
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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