电子材料所西一楼超净室改造-西安交通大学-政府采购意向

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1、空间重组与功能区划分，****点击查看实验室隔断，按洁净区域划分为百级区、千级区和灰区： （1）百级区：集成光刻机、匀胶、显影等核心设备，配套防震台、恒温恒湿系统。 （2）千级区：刻蚀设备、薄膜沉积设备等核心微纳加工设备，配套恒温恒湿系统。 （3）灰区：设备通道及辅助设备区域。 2、根据实验室配套功能需求，实验室内设置化学品暂存柜、超纯水系统、废****点击查看监控中心，保障实验环境合规性与操作安全。 3、改造通风系统，增设高效除尘处理装置，确保洁净室空气品质；改造消防系统，保证实验室消防安全。