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| ****点击查看**度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | |
| 采购单位： | ****点击查看 |
| 采购项目名称： | ****点击查看**度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购 |
| 预算金额： | 460.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:该设备利用电感耦合等离子体产生高能量的离子和自由基，可实现对多种超宽禁带材料的精确刻蚀，具备高刻蚀速率、高选择性、良好的均匀性和垂直度等优点。采购此设备旨在不同研究方向上对微纳结构加工的严格要求，实现高深宽比的微结构加工，提高探测器性能，同时提升研究效率，降低研究成本，保障技术保密性，推动高性能超宽禁带探测器研究的深入开展。 需满足的要求:质量保证期:验收合格之日起算一年;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时; |
| 预计采购时间： | ****点击查看 |
| 备注： | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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