齐鲁工业大学（山东省科学院）教学科研仪器设备采购项目-齐鲁工业大学-政府采购意向

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

****点击查看****点击查看学院）教学科研仪器设备采购项目

为发挥采购人自身科研优势，满足科研、教学、服务需要，培育优秀专业特色，进一步推进科研教学质量建设，我校特采购一批设备，具体如下：集成电路测试教学虚实联动实践平台，光刻系统(6英寸），磁控溅射镀膜机，等离子体增强化学气相沉积设备，ICP感应耦合等离子体刻蚀机，RIE反应离子刻蚀机，热阻/电子東蒸发设备，离子東刻蚀系统，晶圆测试系统，数模混合ATE测试系统。超高灵敏度免染型化学发光成像系统。功能涵盖化学发光，光密度成像，免染成像等。强制执行国家等标准，按照采购人验收标准执行。

1136.000000

否