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| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 项目编号****点击查看 | |
| 2024-11-14 09:28:37 | 公告截止日期2024-11-16 11:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式预付40%，到货后支付50%，验收合格后支付10% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签约后90个自然日 | |
| ￥400000.00 | ||
| **市**区**路68号****点击查看 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1 | 台 |
| ￥ 400000.00 |
| 一、真空系统： 1. 复合分子泵抽速不低于1200 L/S，前级泵抽速不低于9L/S，需配备旁抽； 2. 真空极限：优于3.0×10-5 Pa； 3. 抽速：分子泵启动后，抽至5.0×10-4 Pa 时间小于15分钟； 4. 全量程数显复合真空计 二、样品台： 1. 不锈钢腔室，腔室内体积不小于0.05 立方米，源基距不低于340mm； 2. 4个基片座，每个基片座对应四种可切换掩膜，不破真空情况下可以切换掩膜； 3. 样品台速度连续可调，要求磁流体密封； 三、蒸发系统和膜厚监控： 1. 6 组蒸发源，其中 4 组舟式金属蒸发源，2 组束源炉式有机蒸发源，金属蒸发源需要水冷，采用陶瓷绝缘结构，有机蒸发源采用陶封法兰金属密封结构 2. 源间配隔板，每个蒸发源配独立挡板 3. 分别的金属用蒸发电源和有机源用蒸发电源，具备粗调微调功能； 4. 采用薄膜沉积控制仪在线控制蒸镀速率和膜厚，蒸镀速率可预先设定，膜厚仪速率和厚度分辨率±0.015埃，速率显示精度0.01埃/秒 四、其他： 1. 高精度冷却循环水机，控温±0.1℃ 2. 静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min 3. 仪器控制方式为触控 4. 对分子泵、膜厚仪探头、磁流体、蒸发电极等缺水，过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护 5. 提供一块定制掩膜板，钨舟 10 个，有机源坩埚 5 个 6. 包含运输、安装调试和培训服务 |
| 质保期:一年; |
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