视频级高速高通量原子力显微成像系统

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拟采购系统的主要功能如下：通过超快反馈算法（响应时间 lt;1 ms）、激光干涉计量系统（位移分辨率0.1pm）和低噪声压电驱动技术（定位精度 lt;0.1nm）的协同创新，实现了皮米级空间分辨率（~100pm）与每秒30帧的高速成像能力，突破传统表征技术对动态过程观测的时空限制；同步获取量子材料表面形貌、力学模量（精度±0.1 GPa）、局域电输运（电流灵敏度1 pA）、磁畴结构（相位分辨率0.1°）及铁电极化（电压精度1 mV）等多物理参量。 主要技术指标如下： （1）线扫描速度≥1200Hz。 （2）成像速度≥1秒钟40幅图。 （3）扫描器闭环噪音：X轴和Y轴闭环噪音≤60pm， Z轴闭环噪音≤50pm。 （4）在闭环条件下无需更换扫描器可实现原子晶格的分辨率。 （5）扫描器开环噪声：X轴和Y轴开环噪声≤10pm，Z 开环噪声≤5pm。 （6）光学成像分辨率≤1μm。 （7）具有密闭样品腔，可实现液体/气体密闭环境下的样品测量，样品腔内有压力传感器，用于检查密闭腔体是否泄漏，最大压强≥30 kPa。 （8）样品台具有冷却与加热功能，可提供0℃到250℃测试环境。 （9）导电力显微镜模块：电流检测范围≥1pA~20nA，电流精度≤1pA。 （10）双频共振压电力显微镜模块：探针同时施加2个共振频率，其中第一共振频率≥10kHz，第二共振频率≥30kHz，第一与第二共振频率差≥20kHz，用于检测铁电材料真实的压电（11）纳米力学模块：能够在轻敲模式扫描成像的同时获得样品的弹性模量，损耗因子以及粘弹性性能等机械学性能。模量测试范围≥1MPa-100GPa。 （12）高压模块：施加电压不低于±150V。 （13）配备多种工作模式：磁场力显微技术、纳米刻蚀、纳米操纵、矢量压电力显微镜模式等 服务要求：1年质保 到货时间：2025年12月