紫外曝光系统（第二次）中标结果公告(1)

项目名称：紫外曝光系统（第二次）
项目编号：****点击查看
招标范围：紫外曝光系统 1套 (含原厂光强计，光刻机专用吸片真空泵，分区曝光测试板，压缩空气过滤器。LED 光源，波长365nm，405nm，436nm；光强计和400nm探头一套；双面对准功能；自动对准功能；顶部物镜2个5X；底部物镜2个5X；掩模板框架5吋，7吋，9吋各一套；晶圆光刻夹具2吋，4吋，6吋，8吋各一套。具体指标详见技术规格)
招标机构：****点击查看
招标人：/
开标时间：2026-07-01 09:30
公示时间：2026-07-07 15:40 - 2026-07-10 23:59
中标结果公告时间：2026-08-20 16:21
中标人：****点击查看
制造商：苏斯微技术解决****点击查看公司
制造商国家或地区：德国