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| 膜厚监控仪（带可调膜厚仪探头） | 1.0/套 | 23000.0 | 泰科诺-FTM107-A-馈通法兰M25 | FTM107-A-馈通法兰M25 | 可实现与高真空电阻蒸发镀膜设备(型号ZHD300)的匹配，实现蒸发材料的膜厚和速率的高分辨率监控。具体要求如下： 1.采用石英晶振膜厚监控仪，在线实时监测蒸发速率，监控膜厚；水冷探头位于基片台附近； 2. 膜厚监控显示蒸发速率精度可达±0.1A（0.01nm），厚度精度可达±1A（0.1nm）； 工作时，若镀膜达到设置厚度，可自动切断蒸发电源，停止镀膜，实现自控膜厚之目的 ★3. 能够匹配设备型号为ZHD300的高真空电阻蒸发镀膜机。 4．具体参数： 晶振频率：6 MHz(可选2.5 M3M 5M 9M晶体) 显示方式：5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚、 操作方式：触摸屏 厚度显示范围：0-99μ9999 厚度实际分辨率：0.1 厚度显示分辨率：1 速率范围：0-999.9 速率显示分辨率：0.1/s 镀膜层数：99层 探头输入：4路 工作因子：0.01-99.99 材料存储: 257+自定义10种 通 讯: RS232/RS485 挡板/源控制: 2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源 镀膜显示: 速率曲线/数值 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | 附件: |
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